Netzwerk für Technologen in der Elektronikfertigung

Silvia Hertel, Fraunhofer Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS Die elektrochemische Abscheidung (ECD) von Aluminium (Al) aus ionischen Flüssigkeiten (IL) wurde in den letzten zwei Jahrzehnten vielfach dokumentiert. Die verschiedenen IL-Systeme dienen meist als Korrosionsschutz.